theta-SE^®（マッピング用小型高速分光エリプソメーター）

高速で広いスペクトルの測定

theta-SEには薄膜のマッピング測定を提供するために分光エリプソメトリーの最新技術が数多く組み合わされています。分光エリプソメトリーは薄膜の膜厚および光学定数の評価に最適な技術であり、theta-SEではそういった薄膜の特性をウエハ全体での走査測定が可能です。

高感度：

分光エリプソメトリー測定は組成比、導電性、表面状態などの様々な特性に感度を有しています。加えて、0.1nm以下の膜厚変化にも感度があります。theta-SEは分光エリプソメトリー測定の高い感度と高速マッピング機能を組み合わせることにより非破壊・非接触でのサンプル評価を可能にします。

高精度：

分光エリプソメトリー測定はサンプルを反射した偏光の変化を測定します。偏光の変化とは基本的にΨ(プサイ)とΔ(デルタ)という2つの値で記述されます。分光エリプソメトリーはこの2つの値を各測定波長で測定することに加えて、自己参照の技術であるため優れた測定精度を提供することができます。

デュアルシータマッピング：

特許出願中のマッピングステージにより小型の卓上機で直径300mmまでのサンプルを測定ができます。

集光スポット：

集光ビームと回転ステージによりエッジ近傍の測定を可能にします。

高速カメラアライメント：

カメラアライメントでは画像認識・画像処理技術を用いることにより従来のアライメント技術と比較してわずかな時間でのアライメントを可能にします。それに加えて、カメラによる測定領域の視覚情報も提供します。

特許取得済のカメラベースアライメント

二重回転光学素子型技術：

測定ポイント間のステージ移動時間の短縮、カメラによる高速アライメント、従来方式の半分の時間で高精度な測定を可能にする二重回転光学素子型技術を用いることで多点マッピング測定の測定時間を最小限にしています。

CompleteEASEによる自動解析：

CompelteEASEは使いやすさを追求した特徴を備えています。測定条件、測定ポイント、解析モデルで構成されるレシピを用いることによりワンタッチでの操作が可能です。