このエリプソメトリー講座は、エリプソメトリーそのものを更に知りたい方や、 エリプソメトリーのアプリケーションを知りたい方に向けての紹介になります。 初心者の方向けに書かれていますが、 エリプソメトリーを経験したお客様にも役立つ情報が述べられています。

エリプソメトリーとは何か？

エリプソメトリーとは、光が材料に反射または透過した際に生じる偏光の変化を測定する計測技術です。偏光の変化はp偏光とs偏光との振幅比Ψと位相差Δという値で表されます。これらの値は材料の光学定数と膜厚に依存します。そのため、エリプソメトリーは主に薄膜の膜厚および光学定数の評価に使用されます。それ以外にも、エリプソメトリーは組成比や結晶度、表面粗さ、ドーピング濃度といった光学的応答に関係する様々な物性の評価にも使用されます。

エリプソメトリーはマイクロエレクトロニクスの分野で着目されるnmスケールでの測定を行うために開発され、1960年代以降からエリプソメトリーに対する関心が着実に高まってきました。現在では、物理学における基礎研究や半導体、データストレージ、ディスプレイ、情報通信、生体センサー、光学コーティングといった分野までアプリケーションが広がっています。こうしたアプリケーションの拡大は、多くの分野において薄膜に対する重要性が高まったことと、エリプソメトリーがほとんどの材料（誘電体、半導体、金属、超伝導体、有機物、生体コーティング、混合物など）に対して柔軟に使用できるためと言えます。

この講座ではエリプソトリーの基礎とデータ解析の一般的な手順を説明します。また、エリプソメトリーの主なアプリケーションについても紹介していきます。