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VUV-VASE®オプション  
 
サンプル自動ステージ (Gen-II のみ)


VUV-VASE Gen IIの300mm R-Thetaマッピング
140mm x 140mm XYマッピング
300mm R-Thetaマッピング

溶液プリズムセル™
液浸露光技術によってこれまでのリソグラフィーに
おける露光技術は飛躍的に改善され、より半導体の
微細化への対応を可能にしました。
屈折率と消衰係数(n k )は光学設計全体において非常に重要です。
VUV-VASEはハロープリズムセルと特別な測定アルゴリズムによって、液晶の光学特性を決定する能力を高めています。


NIR アップグレード
VUV-VASEのスペクトル域をNIRの1700nmまで広げることができます。

 

 

 
   

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