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VUV-VASE®  
 



真空紫外域多入射角分光エリプソメーター
(VUV-VASE)は、リソグラフィー用薄膜の光学
特性評価でもっとも信頼できる検査装置です。

真空紫外(VUV)から近赤外(NIR)までの広い
波長範囲を測定できるため、半導体や誘電体、ポリマーや金属といった単層膜や多層膜、そして液浸用溶液のような液体まで、多くの材料を評価することができます。

短い波長で測定するために、極薄膜の測定感度がとてもよく、リソグラフィーで多く使われる波長(157nm, 193nm, 248nm)で、n k が測定できます。

短波長の測定範囲を広げるため、従来の
キセノンランプとフォトダイオード検出器に加えて、 重水素ランプと光電子増倍管(PMT)が装着されました。 これにより、リソグラフィーで有用な193nmの深紫外における信号のノイズに対して信号が増幅されます。

 



なぜ VUV-VASE

広い波長範囲
VUV-VASEは140nm以下から1700nmまでの広い波長を測定できます。
(1100nm~1700nmはオプションで対応可能)

高い測定精度
自動位相調整器(Auto Retarder®)(特許取得済)を
使用しているため、サンプルの種類にかかわらず高い
精度での測定が可能となりました。

簡単なサンプル操作
装置に充填されている窒素濃度を下げないための特別な設計が施されているため、サンプルの設置をすばやく行うことができます。

サンプルの保護
サンプルのすぐ手前に分光器が設置されているため、
感光性材料への光の照射を最小限に抑えることが
できます。

 


 

 
   

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