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VASE®  
 
VASE (多入射角分光エリプソメーター) はすべての
波長で 入射角を精度よく設定でき、Ψと⊿を高精度で
測定することができます。
これは広い波長領域(190nm-3200nm)で可能です。
サンプルステージは水平にも垂直にも取付け可能で、
自動マッピングステージや集光オプションも利用でき
ます。

VASEは研究用に最適な分光エリプソメーターと言え
ます。

<主な仕様>
広い波長範囲 (190nm-3200nm)
完全に自動化された入射角制御
非接触・非破壊での物質解析

様々なタイプの材料特性を簡単に解析できます。
半導体・誘電体・重合体・金属・多層膜 など...

<以下のデータ取得が可能です>
反射および透過エリプソメトリーデータ
反射率と透過率の測定
一般化エリプソメトリー
    (異方性・リターダンス・複屈折)
偏光解消率 (Auto Retarder®が必要です)
異方性の測定 (Auto Retarder®が必要です)
ミューラー行列
スキャッタメトリー

 


<VASEオプション>
近赤外(NIR)アップグレード
 波長範囲(240nm-1100nm)を、 さらにNIR1700nmまで拡張します。

拡張赤外域ディテクター(XNIR)アップグレード
 波長範囲(240nm-1100nm)を、さらに XNIR2500nmや、XXIR3200nmまで拡張します。

深紫外域(DUV)アップグレード
 波長範囲(240nm-1100nm)を、さらにDUV 190nmまで拡張します。

自動位相調整器Auto Retarder (V-VASEのみ)

サンプルヒートステージ
 サンプルの縦置き・横置きどちらにも使える高温度ステージです。
 室温から300℃までと、-70°から600°まで対応可能です。

集光ビーム
 ビームを直径200ミクロンまで集光します。
 集光光学系により波長レンジは、400nmから1100nmまでの波長範囲に限られますが、取り外して
 全波長での測定が可能です。

クライオスタット
 サンプルの温度を変えて測定できます。(4.2-700ケルビン)

製品紹介動画(英語) (1.2MB)

 

 

 

 

 




なぜ VASE?

最高のデータ正確性
VASEは他に類をみない、データの正確性を提供いたします。
特許取得済の自動位相調整器(Auto Retarder)を備えた回転検光子型エリプソメーター(RAE)です。

高精度の波長選択
HS-190TMモノクロメーターは、分光エリプソメーターのために特別に設計されています。スピード・波長校正・
光のスループットが最適化されており、また波長の選択およびスペクトル分解能は自動制御されます。

フレキシブルな測定
反射、透過、そして散乱といった多くの種類の測定に
対応するために、垂直型でのサンプル設置という特徴になっています。

   

自動位相調整器
    (Auto Retarder)の技術

回転検光子型エリプソメーター(RAE)は、Ψ/⊿データにより多くの情報が含まれる、「ブリュースター角」付近での測定で、データの正確さが最大になります。
そのため、RAEではΨ/⊿が測定できる範囲が制限されてし
しまうほか、特定の値のときに測定誤差が大きくなります。
したがってサンプルによっては測定精度が悪くなります。


しかし、弊社装置に搭載されているAuto Retarderを
用いることで、RAEで起こる問題を解決することができます。

Auto Retarderはサンプルに入射する光の偏光を調整する働きをもつ、コンピュータ制御の波長板です。これにより、Ψ/⊿を全範囲で測定できる上に、特定の値で測定誤差が増大する問題も解決できます。どのようなサンプルに対しても、どのような条件下でも測定条件を最適化することができるようになりました。

Auto Retarderは以下の測定を正確に行います
プサイΨとデルタ⊿をフルレンジで!
一般化(異方性)エリプソメトリー
偏光解消データ
ミューラー行列データ

 

 
   

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