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VASE®アプリケーション  
 

光通信-レーザー光学素子
分光器の使用による正確な波長選択によって、光学系
の動作波長の測定が可能です。
例:1550nm, 1310nm, 980nm, 632.8nm, 589nm


光学コーティング
自動位相調整器(AutoRetarder®)により、⊿が0°
や180°近辺であっても正確に測定することができます。
これはガラスやプラスチックといった透明基板上の薄膜
評価にはとても重要です。

厚い膜 
厚い膜(>5μm)では、Ψ/⊿の干渉振動の特徴を
捉えるために、高いスペクトル分解能力が必要です。
指定可能な分光器のステップサイズ、そして狭いバンド
幅が繊細なスペクトル形状の識別を可能にします。

(右図)この表のような厚い光学コーティングに対しては、
高い波長分解能が必要です。


半導体
バンドギャップや電子遷移、そして臨界点といった
情報を持つことにより、GaN・InP・SiGe・CdTeなどの
半導体物質の測定を可能にしました。高い波長
分解能、そしてデポラリゼーション(偏光解消)測定の
能力が正確な光学定数の決定を保障します。

感光性材料
分光器はサンプルの前に置かれているため、微弱な
単色光のみがサンプルを照射します。これにより、
感光性サンプルが曝露されるのを防いでいます。

(左図)混晶比を変化させたときのSiGeの光学定数
(下図)フォトリソグラフィー用薄膜の光学定数



 

 

 

 
   

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