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T-SolarTM エリプソメーター  
 

 

 

T-Solar Spectroscopic Ellipsometer

T-SolarTM エリプソメーターは、テクスチャー構造を
もつサンプルの測定に適した装置です。
すでに確立された装置である回転補償子型分光
エリプソメーター(M-2000)に基づき、T-Solarは
紫外から可視光、近赤外までの範囲の数百波長
での測定が可能です。

表面が粗く、テクスチャー構造をもつサンプルは、
反射光の強度が非常に小さいため、T-Solarは
そのようなサンプルに対する性能を向上すべく、
高出力の光源と新しいIntensity-Optimizer*
(測定光強度最適化装置)を組み込みました。

T-SolarはエッチングされたSi基板表面上の反射
防止コーティング膜を測定・解析するのに高い性能
を示しています。
さらに傾きと回転を調整するステージが備わって
います。このステージはアルカリエッチングされた
多結晶基板のピラミッド構造をもつ表面にあわせて
サンプルを調整するのに大変便利です。-1

 


Accumap-SE ellipsometer spectral range


 

太陽電池関連の
      アプリケーション:

テクスチャー構造のある単結晶
あるいは多結晶の基板

反射防止コーティング
  (SiNx,  AlNx...)

透明導電性酸化物
   – ITO
  – ZnOx
   – doped SnO2
  – AZO

アモルファスシリコン(a-Si)、
  微結晶シリコン(μc-Si,)、
  多結晶シリコン(poly-Si)

CdTe, CdS, CIGS

有機系太陽電池

色素増感薄膜

   
T-Solar Fully Adjustable Sample Stage
 
 
   

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