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サンプル測定サービス  
 
 

J.A.Woollam社の測定解析室は、1990年以来、世界的な技術的コミュニティに貢献してきました。
弊社測定解析室には、お客様の材料の特性を正確に解析するために、弊社の最高レベルの分光
エリプソメーターと、経験豊かな技術者がおります。お客様に、有益な測定結果をご提供いたします。

弊社では、装置導入のご予算が取れないお客様に向けて、導入までのつなぎとして有償サンプル測定
サービスを行っております。
また、分光エリプソメトリーの技術評価および機種選定に関わるサンプル測定は、基本的に無料で行なわせていただきます。

弊社では、常に分光エリプソメトリーの新しい分野への開発に取り組んでおります。
すでに数百種類にも及ぶサンプルの測定依頼を受けており、これらの経験は弊社の基礎となっていると
考えております。
もし複雑なサンプルなどでご不明な点がございましたらお気軽に弊社のエンジニアまでお問い合わせ
下さい。

薄膜サンプル測定サービス:

  • 薄膜試料の膜厚及び光学定数の測定
  • バルク試料の光学定数の測定


測定条件

M-2000V測定 (可視領域)
波長範囲 : 370nm-1000nm(390波長)
入射角 : 3入射角(任意の入射角)
M-2000U測定 (紫外-可視領域)
波長範囲 : 245nm-1000nm(470波長)
入射角 : 3入射角(任意の入射角)
M-2000D測定 (深紫外-可視領域)
波長範囲 : 193nm-1000nm(500波長)
入射角 : 3入射角(任意の入射角)
赤外分光エリプソメーター(IR-VASE)測定
測定波長範囲 : 2-30μm(333-5000cm-1
近赤外域測定
上記のいずれかの測定範囲に近赤外波長領域(1000nm-1700nm)の110波長を追加して測定解析を
行います。
集光ビームによる測定
上記測定は、ビームの大きさが 2×8mm の楕円です。装置に集光光学系を取り付けてこれを 0.5×1.2mm 程度に絞ることができます。
面内の膜厚分布測定
上記のいずれかの測定により光学モデルを決定した後にサンプル面内の膜厚分布測定をします。
測定点数は別途ご確認願います。
透過強度データ
0度の透過データ : 各測定に透過データを組み合わせて解析します。

<基板>

基板材料は、 光学定数が既知の物質が最適です。
(「Handbook of Optical Constants of Solids」E.D.Palik、 Ed.等の文献に載っている物質)

一般的には、「Si」「GaAs」等の基板、 または「石英ガラス」「BK7」等の透明基板が用いられます。
未知の基板又は仮想基板(多層構造の基板を仮想的に基板とみなすとき)の場合は、 基板のみの御提供をいただければ、それを測定いたします。

<単層構造のサンプル>

多層構造を構成する各層が、 単層で上記既知基板上にある試料の御提供を御願い致します。
この単層サンプルにより各層の光学定数を測定し、 多層サンプルの測定に使用します。
注) 以下の場合は、 この限りではありません。

  1. SiO2 など文献値と同じと思われる層
  2. AlGaAs など臨界点シフトアルゴリズムで表される層

<多層構造サンプル>

上記 1.および 2.で決定した光学定数を使用し、 多層構造サンプルの解析が可能となります。


薄膜サンプル測定のポイント:

  • 190-3200 nm( 0.73-6.5 eV ) 及び 2-30μm(333-5000cm-1) の波長範囲。
  • Delta を 0度から360度まで測定します。
    オプションの AutoRetarderを使います。
  • 12インチまでサンプル マッピングができます。更に大きいサイズも、ご相談ください。
  • 小さなスポットフォーカスビームもできます。

測定サービスに使用する機器:


IR-VASE
(2μm-30μm)

M-2000DI
(193nm-1700nm)

V-VASE
(190nm-3200nm)
 

多入射角分光エリプソメトリー(VASE)の適用例:

バルクガラス、及び、半導体基板
  広い波長範囲にわたって屈折率 ( nk ) が測定できます
薄い誘電体の表面層:
  自然酸化膜、または表面粗さ
金属膜
多層膜
  分光エリプソメーターの特徴的な分野です
有機膜
  Langmuir-Blodgett膜
異方性膜
リソグラフィー分野
  フォトレジスト
ARC ( 反射防止膜 ) 、有機膜、無機膜
透明導電酸化物 ( TCO )
  インジウムスズ酸化膜 ITO
ZnO
SnO2
フラットパネルディスプレイ
化合物半導体
  単層・多層膜の膜厚と共に様々な物質の混晶比を求めます
※ このサービスは、日本国内のサービスとさせていただきます

測定サービスに関するお問い合わせ: info@jawjapan.com

 
 
 
   

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東京都杉並区荻窪5-22-9藤ビル2F
TEL (03) 3220-5871
FAX (03) 3220-5876
E-mail: info@jawjapan.com

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