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製品紹介  
 
VASE VASE (多入射角分光エリプソメーター)

広い波長範囲 (190nm-3200nm) を持つ、多入射角分光エリプソメーターです

M-2000 M-2000 (高速分光エリプソメーター)

革新的な回転補償子 (RCE) 技術を搭載
193nmから1700nmの間で多くの波長範囲を選べます

VUV-VASE VUV-VASE (真空紫外域多入射角分光エリプソメーター)

真空紫外から近赤外 (146nm-1700nm) までをカバーする
分光エリプソメーターです
リソグラフィーの248nm、193nm、および157nmに完璧に対応します

IR-VASE IR-VASE (赤外域多入射角分光エリプソメーター)

2から30ミクロンまでの広い波長範囲を測定し、薄膜とバルク材料の両方の
測定が行えます

alpha-SE alpha-SE (簡易高速分光エリプソメーター)

薄膜の膜厚と屈折率の測定なら、コンパクトなalpha-SEがお勧めです 
従来の大掛かりな装置ではなく、可能な限り小さくまとめました 
波長範囲は380nm-900nmの180波長です

T-Solar T-Solar  (太陽電池向分光エリプソメーター)

テクスチャー構造をもつ太陽電池関連のアプリケーションに適した装置です
紫外から可視光、近赤外までの範囲の数百波長での測定が可能です

Partners OEMパートナー 

ALD装置や大型パネルマッピング装置などの、さまざまな分光エリプソ
メトリーのアプリケーションに合ったOEMパートナーをご紹介いたします

サポート&サービス

測定サービス

弊社の測定解析室には、最高レベルの分光エリプソメーターを揃え、
経験豊なエンジニアがお客様のあらゆるサンプルを測定・解析いた
します

 

 

 
   

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ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社
東京都杉並区荻窪5-22-9藤ビル2F
TEL (03) 3220-5871
FAX (03) 3220-5876
E-mail: info@jawjapan.com

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