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M-2000®オプション  
 
マッピングステージ
M-2000 Ellipsometer mapping stage
Simple Liquid Cell 0.5ml

溶液セル 0.5ml
液体環境に対して入射角75°で測定することができる光学窓付のセルです。個液界面の研究を可能にします。液体容量はおよそ0.5mlです。

   
Simple Liquid Cell 5ml
溶液セル 5ml
温度変化対応 溶液セル
Heated Liquid Cell
   
ヒートステージ
室温から300℃までのサンプルの温度変化を観察できます。サンプルサイズは最大で直径50mm以内であれば可能です。

Heat Stage
INSTEC Temperature Cell
INSTEC社製 温度変化用ステージ
-70º C から 600º Cまでの温度変化に対応して
います。

 

カメラ
パターンウェハを正確な位置にズームします。

 

集光オプション
装置のモデルにより、スポットサイズ30ミクロン以下まで集光できます。(右写真)

M-2000 ellipsometer with focusing probes

 

 
   

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