Home 製品紹介 展示会 セールス&サポート 測定サービス 技術資料 会社案内 お問い合せ
  Home / 製品紹介 / M-2000
メイン
 
モデル
 
オプション
 
アプリケーション
 
ギャラリー

 

 
Newsletter
 

 

 

   
 
M-2000®  
 

 

    

M-2000高速分光エリプソメーターシリーズは、最新の光学構成を持ち、
広い波長範囲と高速な測定ができます。

M-2000はスピードと正確性、その両方を兼ね備えた、極めて汎用性の
高い装置と言えます。特許取得済のRCE技術が、回転補償子型
エリプソメトリーと、即座に全スペクトル(数百波長)を取得できる、
ワイドアレイ構成の高速CCD検出器との併用を可能にしました。

M-2000シリーズは in-situモニタリング やプロセス制御から、大面積の
均一性マッピング、一般的な薄膜評価まで、すべての評価においてとて
も優れた装置です。

<主な特徴>
特許取得済のRCE技術(Rotating Compensator Ellipsometer)
  (回転補償子型エリプソメーター)
  RCEの光学構成により、どのような偏光状態でも精度よく測定する
  ことができるようになりました。(⊿:0°~360°、ψ:0°~90°)

高度なRCE技術により、以下の測定が可能です。
  偏光解消
  異方性
  ミューラー行列

高速測定
  S/N比を向上させたCCDを用い、先端的な受光システムにより、
  すべての波長を同時に測定することができます。

柔軟な装置構成
  このM-2000はあらゆる応用分野の要求に応えられる、様々な架台や
  台座を取り付けられるようになっています。

データ収集・解析ソフトウェア-WVASE32-
  装置付属のソフトウェアWVASE32は装置制御、データ収集、解析の
  すべてをこなす、最も包括的なプログラムです。多くの光学モデルが
  使用でき、かつ最新の数学を用いたフィッティングアルゴリズムで精
  度の良いデータ解析が出来ます。

 

   

M-2000 Spectral Range


なぜ M-2000 ?

高度なエリプソメーター技術
M-2000は高い精度と分解能を達成するため、RCE(回転補償子型
エリプソメトリー)技術を採用しています。


高速スペクトル検出
RCE設計は、全波長を同時測定する高度なCCD検出器との併用を
可能にしました。


広い測定波長範囲
紫外から近赤外までの700を超える波長をすべて同時に
収集します。


フレキシブルなシステム構成
M-2000はモジュール形式の光学設計を採用しており、プロセス
チャンバーへの直接取付け、あるいはどの卓上ベースへの設置
にも適しています。


正確さ
M-2000の高度な設計により、様々なサンプルに対して正確な
エリプソメトリー測定を提供できます。

 

 
   

Home | 製品紹介 | 展示会 | セールス/サポート | 測定サービス | 技術資料 | 会社案内 | お問い合せ

ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社
東京都杉並区荻窪5-22-9藤ビル2F
TEL (03) 3220-5871
FAX (03) 3220-5876
E-mail: info@jawjapan.com

©2010 J. A. Woollam Co., Inc. All Rights Reserved.