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IR-VASE®  
 
IR-VASEは1.7ミクロンから30ミクロン(333cm-1から
5900cm-1)までの広い波長範囲を測定することのできる、
唯一のエリプソメーターです。
広い波長範囲全体にわたって、外挿することなく物質の
を求めることができます。また、クラマース・クローニヒの関係式に基づいた振動子モデルにより、物理的に適切な
を求めることができます。

ウーラム社の他の装置と同様、このIR-VASEは誘電体・
半導体・ポリマー・金属などの薄膜とバルク材料の測定に
最適です。
 


 


なぜ IR-VASE

非破壊評価
IR-VASEは様々な材料特性を非接触・非破壊で評価することが
できます。(薄膜の光学定数・物質組成・化学結合状態など)
測定は真空を必要としないため、バイオテクノロジーや化学の
分野で重要な固液界面の評価に使用することもできます。


ベースライン測定や参照サンプルが必要ない
エリプソメトリーは自己参照技術であるため、精度を維持する
ための参照サンプルを必要としません。
また、ビーム全体を収集する必要がないため、ビーム径よりも
小さなサンプルであっても測定が可能です。


高精度な測定
特許取得済みのキャリブレーション手順とデータ取得手法に
よって、プサイ(Ψ)とデルタ(⊿)をすべての波長範囲で正確に
測定します。
IR-VASEは1.7ミクロンから30ミクロンまでの波長範囲全体に
わたって、外挿することなく物質の を求めることができ
ます。
また、クラマース・クローニヒの関係式に基づいた振動子モデル
により、物理的に適切なを求めることができます。
誘電体・半導体・ポリマー・金属などの薄膜とバルク材料に
対して最適です。

 

 

 

 
   

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ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社
東京都杉並区荻窪5-22-9藤ビル2F
TEL (03) 3220-5871
FAX (03) 3220-5876
E-mail: info@jawjapan.com

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