Home 製品紹介 展示会 セールス&サポート 測定サービス 技術資料 会社案内 お問い合せ
  Home / 製品紹介 / alpha-SE / アプリケーション
メイン
 
アプリケーション
 
ギャラリー
 
 

 

ICSE-V
 
Newsletter
 

 

 

   
 
alpha-SE®アプリケーション  
 
誘電体膜

alpha-SEは測定スピードが早く、また操作は測定ボタンを押すだけなので薄膜の評価に理想的です。
シリコン基板やガラス基板上の単層誘電体膜をほんの数秒で測定できます。
得られた結果は下の図のように、図および表形式で容易に比較することができます。




自己組織化単分子膜


分光エリプソメトリー測定で得られる位相に関する情報は、極薄膜(>10nm)に対して非常に感度が
高くなります。




吸収膜


高度なモデルが今後あなたが出会うさまざまな物質を、素早く、そして効果的にフィッティングすることを可能に
します。

物質
• a-Si
• poly-Si
• Diamond-like carbon
• Organic materials
• Organic LED films
• SiC

モデル
• Lorentz
• Gaussian
• Harmonic
• Tauc-Lorentz
• Cody-Lorentz





ガラス上のコーティング


金属や半導体、またはガラスといったどんな基板上でも、私たちの特許技術により、正確な測定が可能
です。透明基板に関しては、alpha-SEは基板の裏面から戻ってくる光を補正するためにデポラリゼーション(偏光解消)を測定します。そのため、他のエリプソメーターではこのような光に悩まされますが、alpha-SEでは光学定数を求めることができるのです。


alpha-SEの技術が持つ高い感度は、反射率測定では得ることのできない微細構造の詳細を得ることが
できます。
ここでは酸化チタンの薄膜が測定され、その屈折率が基板と表面の間で変化しているのがわかります。
屈折率勾配モデルがこのサンプルを一番良く表現しています。

 

 

 
   

Home | 製品紹介 | 展示会 | セールス/サポート | 測定サービス | 技術資料 | 会社案内 | お問い合せ

ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社
東京都杉並区荻窪5-22-9藤ビル2F
TEL (03) 3220-5871
FAX (03) 3220-5876
E-mail: info@jawjapan.com

©2010 J. A. Woollam Co., Inc. All Rights Reserved.