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ジェー・エー・.ウーラム社は、非接触・非破壊で薄膜やバルクを測定・解析する分光エリプソメーターのメーカーです。分光エリプソメトリー(SE)は、薄膜の膜厚や光学定数を求める一般的な測定手法になっています。分光エリプソメトリー、誘電体、半導体、金属、有機膜など様々な物質解析に用いられます。私たちは真空紫外(VUV)から赤外(IR)までのあらゆる測定波長の要求にあうエリプソメーターを提供します。弊社のエリプソメーターでは、自動サンプルステージ、温度可変(昇温や冷却)、集光光学系、溶液セルなどの様々なオプションを用意しております。
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